芯東西（公眾號(hào)：aichip001）
編譯 金碧輝
編輯 程茜

芯東西4月21日消息，據(jù)韓國(guó)ET News報(bào)道，三星電子與荷蘭ASML公司決定終止原計(jì)劃在韓國(guó)京畿道華城建設(shè)的極紫外（EUV）光刻技術(shù)研發(fā)中心項(xiàng)目。該項(xiàng)目于2023年12月由韓國(guó)總統(tǒng)尹錫悅訪荷期間宣布，原計(jì)劃投資1萬(wàn)億韓元（折合人民幣約為51億元），旨在推動(dòng)2nm以下制程芯片的量產(chǎn)技術(shù)突破。

ASML已開(kāi)始處置該項(xiàng)目相關(guān)資產(chǎn)。2024年6月購(gòu)入的6塊總計(jì)1.9萬(wàn)平方米土地中，已有2塊完成出售，另外2塊正在掛牌交易。這一動(dòng)作引發(fā)業(yè)界對(duì)雙方合作穩(wěn)定性的猜測(cè)，但據(jù)韓國(guó)科技媒體ET News報(bào)道，雙方正尋求更高效的替代方案，包括將研發(fā)中心遷至華城以外地區(qū)，甚至考慮直接入駐三星半導(dǎo)體園區(qū)。

▲三星電子慶桂顯與ASML CEO彼得?本寧克簽署關(guān)于設(shè)立下一代半導(dǎo)體制造技術(shù)研發(fā)中心的諒解備忘錄（MOU）

ASML最新財(cái)報(bào)顯示，韓國(guó)市場(chǎng)在2025年第一季度貢獻(xiàn)了其40%的營(yíng)收，首次超越中國(guó)成為全球最大客戶。這一增長(zhǎng)主要得益于三星和SK海力士對(duì)High-NA EUV光刻機(jī)的大規(guī)模采購(gòu)——僅一季度便有23臺(tái)單價(jià)高達(dá)3.5億美元（折合人民幣約為25.3億元）的EXE:5000設(shè)備完成交付，該機(jī)型單季出貨量占據(jù)全球總量的58%。

▲全球光刻機(jī)龍頭ASML公布了2025年第一季度財(cái)報(bào)

技術(shù)層面，三星已在3月初將首臺(tái)High-NA EUV光刻機(jī)引入華城工廠，用于2nm工藝研發(fā)。該設(shè)備采用0.55數(shù)值孔徑技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)1.4nm線寬的光刻精度，為下一代芯片量產(chǎn)奠定基礎(chǔ)。

同時(shí)，在先進(jìn)制程領(lǐng)域，三星SF2（2nm）工藝試產(chǎn)良率已達(dá)30%，超出內(nèi)部預(yù)期。該工藝采用第三代GAA晶體管技術(shù)，相比3nm節(jié)點(diǎn)能效提升25%，性能提高12%，芯片面積縮小5%。

SF2工藝的Exynos 2600處理器計(jì)劃于2025年第四季度量產(chǎn)，生產(chǎn)后的處理器預(yù)計(jì)將用于2026年發(fā)布的Galaxy S26系列手機(jī)。這一進(jìn)度領(lǐng)先于臺(tái)積電N2工藝（2025年底量產(chǎn)），有望使三星成為全球首個(gè)實(shí)現(xiàn)2nm芯片商用化的廠商。

ASML對(duì)韓國(guó)市場(chǎng)的投入持續(xù)加碼。除研發(fā)中心外，ASML還在華城建設(shè)客戶培訓(xùn)與設(shè)備支持中心，總投資達(dá)3.2萬(wàn)億韓元（折合人民幣約為163.2億元）。

結(jié)語(yǔ)：三星ASML協(xié)作加速2nm量產(chǎn)競(jìng)賽

ASML雖終止獨(dú)立研發(fā)中心，取消在華城建廠，但通過(guò)高密度設(shè)備的交付（單季23臺(tái)占比近六成）可以看出與三星的合作仍然在繼續(xù)。同時(shí)，三星2nm工藝良率提升至30%，較原計(jì)劃提前半年進(jìn)入量產(chǎn)準(zhǔn)備。

此次合作調(diào)整折射出半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的兩大趨勢(shì):一是頭部企業(yè)加速技術(shù)本地化布局，三星通過(guò)將研發(fā)中心嵌入自有園區(qū)，可縮短技術(shù)轉(zhuǎn)化周期;二是地緣政治因素影響加深，韓國(guó)在美國(guó)對(duì)華技術(shù)限制背景下，正通過(guò)擴(kuò)大本土產(chǎn)能鞏固供應(yīng)鏈安全。援引The Korea Economic Daily、Financial Times（FT）和Bloomberg News。

來(lái)源：TrendForce、ET News 、CNBC和The Financial News