在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,超純水是貫穿晶圓加工全流程的核心生產(chǎn)要素。從晶圓清洗、光刻到蝕刻,每一道工序都對(duì)水質(zhì)提出近乎苛刻的要求。一旦水中雜質(zhì)超標(biāo),輕則導(dǎo)致芯片良率下降,重則引發(fā)整條生產(chǎn)線停擺。在這一背景下,高新科技作為一家聚焦于芯片制造等電子核心產(chǎn)業(yè)的超純水系統(tǒng)供應(yīng)商,構(gòu)建起覆蓋超純水制備、儲(chǔ)運(yùn)、收集、處理、回用各個(gè)環(huán)節(jié)的全鏈條技術(shù)體系,為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供穩(wěn)定可靠的用水保障。

超純水制備:技術(shù)精進(jìn)驅(qū)動(dòng)純度突破

超純水制備系統(tǒng)工藝非常復(fù)雜,對(duì)設(shè)備精度與工藝控制提出極高要求。超純水的生產(chǎn)要經(jīng)過(guò)多道工藝流程,預(yù)處理、初級(jí)處理與拋光等多個(gè)步驟,這些步驟中,還涉及離子交換、UV照射、反滲透、混床離子交換、拋光膜脫氣等多種高精尖技術(shù),共同確保電阻率達(dá)到≥18.24MΩ*cm(在25℃時(shí))的超純標(biāo)準(zhǔn)。

高頻科技專注超純水領(lǐng)域,依托資深的技術(shù)團(tuán)隊(duì),經(jīng)過(guò)持續(xù)研發(fā)投入與工藝探索,其超純水系統(tǒng)制備的超純水純度可達(dá)ppt級(jí)別,離子含量?jī)H萬(wàn)億分之一,打造出比肩國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的超純水。高頻科技是國(guó)內(nèi)極少數(shù)能夠在芯片領(lǐng)域提供超純水系統(tǒng)的企業(yè),同時(shí)是國(guó)內(nèi)首家具備12英寸14nm芯片產(chǎn)線超純水制備能力的系統(tǒng)供應(yīng)商。

超純水配送:閉環(huán)水循環(huán)確保水質(zhì)穩(wěn)定

在半導(dǎo)體制造中,超純水從制備到機(jī)臺(tái)端的“最后一公里”輸送,是決定水質(zhì)穩(wěn)定性的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。在這一過(guò)程中,不管是管道材質(zhì)析出、微生物滋生還是氣體溶入,都可能導(dǎo)致水質(zhì)污染,影響半導(dǎo)體生產(chǎn)。

高頻科技超純水配送系統(tǒng)采用環(huán)路連接設(shè)計(jì)消除死水區(qū),實(shí)現(xiàn)24小時(shí)閉環(huán)循環(huán)。系統(tǒng)通過(guò)增壓泵變頻調(diào)節(jié)與回水管道比例閥開(kāi)度控制,動(dòng)態(tài)匹配用水量變化,維持管內(nèi)壓力恒定;供水流量按實(shí)際需求的120%-150%設(shè)計(jì)冗余,保障用水高峰期壓力穩(wěn)定及水流速,避免微生物滋生。同時(shí),該系統(tǒng)的管道擁有極高的穩(wěn)定性,幾乎沒(méi)有任何有機(jī)物、離子等雜質(zhì)的析出,確保超純水不被污染的供應(yīng)至機(jī)臺(tái)端。

廢水處理與回用:經(jīng)濟(jì)與生態(tài)效益雙贏

半導(dǎo)體制造產(chǎn)生的廢水成分復(fù)雜,包含氫氟酸腐蝕性物質(zhì)、光刻膠溶劑類有機(jī)物及銅/鋁等金屬離子污染物,而傳統(tǒng)單一處理工藝存在成本高、回用水質(zhì)不穩(wěn)定等技術(shù)瓶頸。

針對(duì)行業(yè)痛點(diǎn),高頻科技研發(fā)打造出電子級(jí)廢水處理技術(shù),采用針對(duì)性的工藝高效、經(jīng)濟(jì)地完成處理。通過(guò)多級(jí)化學(xué)混凝沉淀、氨氮吹脫、生物處理等工藝的結(jié)合,該技術(shù)能夠有效處理污染物繁多、性質(zhì)復(fù)雜的芯片廢水,實(shí)現(xiàn)深度去除污染物。同時(shí),高頻科技依托出眾的技術(shù)和設(shè)計(jì)能力,能夠?qū)χ瞥虣C(jī)臺(tái)產(chǎn)生的30多道廢水進(jìn)行合理的分流和回用。項(xiàng)目水平衡可實(shí)現(xiàn)整廠用水的制備回收率高達(dá)90%,幫助企業(yè)實(shí)現(xiàn)提高水資源利用率,達(dá)成降本增效目的,實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)效益與生態(tài)效益雙贏。

當(dāng)前,我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正向更高端、更自主方向加速邁進(jìn),作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)鍵支撐環(huán)節(jié),高頻科技通過(guò)構(gòu)建超純水全生命周期技術(shù)體系,深度參與著產(chǎn)業(yè)升級(jí)進(jìn)程。展望未來(lái),高頻科技將繼續(xù)深耕超純水工藝技術(shù),精準(zhǔn)對(duì)接產(chǎn)業(yè)升級(jí)對(duì)超純水品質(zhì)的新需求,并以高效資源循環(huán)技術(shù)助力半導(dǎo)體企業(yè)實(shí)現(xiàn)降本增效與可持續(xù)發(fā)展。